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temperature dependence of actuated membranes for rf mems switches
Julien Noel (Autor)
·
vdm verlag dr. mueller e.k.
· Libro Físico
temperature dependence of actuated membranes for rf mems switches - julien noel
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Reseña del libro "temperature dependence of actuated membranes for rf mems switches"
over the last 10 years, understanding of mechanical properties of thin film material has been essential for improving life-time operations of microelectromechanical systems (mems). although, properties of bulk materials might be well characterized, th ...
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